石墨方舟異常情況處理和日常維護等

石墨方舟異常情況處理和日常維護等:

1，批次與批次之間不滿石墨方舟如何？不滿石墨方舟會有什么結(jié)果？上一批不滿一石墨方舟用下一批次填滿，并分別記錄區(qū)分開來。不滿石墨方舟進行工藝，沒有硅片的石墨方舟片上會沉積SIN膜，石墨石墨方舟物理性質(zhì)下降，會產(chǎn)生紅片，色差片等。

2，一區(qū)二區(qū)流程卡如何對接，數(shù)量如何確認？刻蝕通過傳送箱流入的合格品，當場清點數(shù)量即可。

3，石墨石墨方舟工藝要求的清洗周期、刻蝕周期？預處理的方式有幾種不同？預處理不合格返工片多如何處理？石墨石墨方舟運行120-150次需刻蝕，刻蝕滿6次需清洗預處理方式預處理方式：NEW BOAT PRZ 新石墨方舟插上硅片預處理AFTETCH PRZ 石墨方舟刻蝕后沒插硅片預處理AFTETCH PRZ 石墨方舟刻蝕后插硅片預處理預處理后返工片多，加工藝時間，若還不行，需進行拆洗。

4，刻蝕、清洗、預處理的整個流程？當石墨石墨方舟運行120-150次：滿6次刻蝕-拆洗-烘干-預處理不滿6次刻蝕-刻蝕-預處理

5，色差片產(chǎn)生的幾種原因？清洗、刻蝕工序減薄量不穩(wěn)定石墨石墨方舟物理性質(zhì)下降（SIN沉積過多）鍍膜時間不同微波峰值不穩(wěn)定（設備原因）

6，色斑批片產(chǎn)生的原因？硅片表面清洗不干凈擴散間偏磷酸滴漏清洗、刻蝕、風刀沒吹干或堵塞

7，檢驗標準？（色差、色斑片的判定標準）以QC為準

8，每臺機的石墨石墨方舟配置標準？小車的配置是怎樣的？每臺機石墨石墨方舟標準配置7個，為正常輪轉(zhuǎn)生產(chǎn)，小車配置4個。

9，為什么會出現(xiàn)石墨方舟漿分離？石墨石墨方舟電極放反，SLS漿在爐管中較長時間未出，導致變形，檢查要到位，及時觀察。

10，鍍膜的整個過程。工藝開始-充氮-進石墨方舟-漿降至低位-漿在低位退出-管內(nèi)抽真空并進行管內(nèi)壓力測試-通過高頻電源用NH3預清理和檢查-清洗管路-測漏-恒溫-高頻電源用NH3預清理-鍍膜-結(jié)束鍍膜-抽真空及測試壓力-清洗管路-將管內(nèi)剩余NH3、SH4抽走、防止與空氣接觸爆炸-充氮-漿在低位進入爐內(nèi)-SLS移至高位-退石墨方舟-結(jié)束工藝

11，備用石墨方舟的管理。一條線總共20個石墨方舟，14個生產(chǎn)，6個備用，備用石墨方舟不使用時應保存在相應的石墨石墨方舟柜內(nèi)。

12，PECVD每條線每個班要求的產(chǎn)量，在制品要求的上下限，工藝允許在制品的等待時間是多長。另外要求刻蝕保證的在制品數(shù)量是多少。產(chǎn)量13500，留絲網(wǎng)在制品4000PCS左右，刻蝕流入在制品1800PCS左右。

13，工藝重點參數(shù)膜厚： 100nm 折射率： 2.0鍍膜的好壞，一般情況下是根據(jù)膜的顏色來判斷的。正常膜面為淡藍色，當膜偏厚時顏色會發(fā)白，偏薄時顏色會發(fā)紅因PECVD制程只能通過調(diào)節(jié)時間來控制膜厚，所以膜面質(zhì)量的改善很大一部分需要從前站來改善。