一種PECVD石墨匣缽的清洗方法

一種PECVD石墨匣缽的清洗方法 ：

提供一種PECVD石墨匣缽的清洗方法，其包括以下步驟：配液：在清洗槽內配置氫氟酸溶液；清洗：將石墨匣缽整體放入氫氟酸溶液內，浸泡時間為5?7小時，浸泡同時開啟鼓泡；

抽液：待石墨匣缽整體浸泡5?7小時后，將氫氟酸溶液抽出；

第一次噴淋：用去離子水對石墨匣缽整體進行噴淋，噴淋時間設為1?10分鐘；水洗鼓泡：使用去離子水對已進行噴淋的石墨匣缽整體進行溢流1?2小時，溢流的同時開啟鼓泡；吹掃：用氣XX吹掃石墨匣缽表面；

烘干：將經過氣XX吹掃后的石墨匣缽放入烘箱中。

本技術提供的清洗方法中，對石墨匣缽整體進行清洗，減少拆卸和安裝石墨匣缽的時間，并縮短石墨匣缽清洗時間，提高現有PECVD工序產能，不影響PECVD工藝的色差。