解決石墨料盒鍍膜工藝中膜厚異常的方法及石墨料盒鍍膜工藝方法

解決石墨料盒鍍膜工藝中膜厚異常的方法及石墨料盒鍍膜工藝方法：

本技術(shù)提供了一種解決石墨料盒鍍膜工藝中膜厚異常的方法及石墨料盒鍍膜工藝方法，所述石墨料盒鍍膜工藝方法，包括：將晶硅太陽能電池硅片在通高純氮?dú)鈺r置于第一預(yù)設(shè)溫度環(huán)境中，關(guān)閉爐門，抽真空；

爐管內(nèi)達(dá)到真空要求后，升溫至第二預(yù)設(shè)溫度后檢測爐管密閉性；向爐內(nèi)通氨氣和硅烷，在一定電壓下反應(yīng)生成氮化硅；執(zhí)行所述S1和S2后，獲得氮化硅沉積后的晶硅太陽能電池硅片；沖洗吹掃并充氮?dú)夂蟪隽虾校瓿慑兡すに嚒?/p>

本技術(shù)有效解決了新飽和石墨料盒使用初期氮化硅膜厚偏低顏色發(fā)紅和使用末期氮化硅膜膜厚偏大顏色偏白問題，使石墨料盒使用整個周期內(nèi)氮化硅膜厚和顏色保持穩(wěn)定，大大降低了返工，減少生產(chǎn)成本，提升經(jīng)濟(jì)效益。