石墨槽舟清洗及使用維護(hù)槽舟的清洗

石墨槽舟清洗及使用維護(hù)槽舟的清洗:

1：新槽舟在第一次使用前建議使用去離子水+10%(體積比)的氫氟酸進(jìn)行清洗約3~5小時(shí)；再用去離子水進(jìn)行漂洗8~12小時(shí)；直到確認(rèn)槽舟體沒(méi)有酸性成分，可在漂洗后用PH試紙測(cè)試用過(guò)的水或洗過(guò)的槽舟，以確認(rèn)清洗結(jié)果。然后按照要求進(jìn)行烘干

2：使用后石墨槽舟的清洗：SHF的石墨槽舟一般在使用100-150次左右需要對(duì)其表面的氮化硅進(jìn)行清洗。

建議使用濃度15-25%的氫氟酸溶液，分三輪次來(lái)清洗，每次4-5小時(shí)，并在浸泡清洗的過(guò)程中進(jìn)行周期性氮?dú)夤呐?，加半小時(shí)左右的清洗：；

注意：鼓泡不建議直接使用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時(shí)左右，并確認(rèn)槽舟已經(jīng)徹底清洗干凈，請(qǐng)?jiān)谇逑唇Y(jié)束后檢查槽舟的表面、石墨卡點(diǎn)和槽舟片結(jié)合處、以及其它部位是否還有氮化硅的殘余。然后按照要求進(jìn)行烘干。